U okviru Laboratorije za mikroskopiju nalazi se skanirajući elektronski mikroskop, sa detektorom sekundarnih elekrona, odbijenih elektrona, kao i EDS detektorom.
Pored SEM mikroskopa u Laboratoriji se nalazii AFM mikroskop, koji je povezan sa opremom za feroelektrična merenja da bi se omogućilo merenja električnih karakteristika na nano objektima. Oprema za feroelektrična merenja ima i interfejs za visoki napon i pojačivač, koji omogućuje podizanje napona do 4000 V, a samim tim merenja ne samo na nano objektima već i na komadnim uzorcima.
AFM može da radi u sledećim modovima: modu magnetnih sila (MFM), skanirajućem tunelirajućem modu (STM), modu piezo sila (PFM), Kelvin probe modu.